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CPU的制造工艺和制造技术的进步和发展

来源:赛迪网  作者:Webmaster 时间:2007-04-25 点击: [收藏] [投稿]

CPU 从诞生至今已经走过了20 余年的发展历程,C PU 的制造工艺和制造技术也有了长足的进步和发展。在介绍C PU 的制造过程之前,有必要先单独地介绍一下C PU 处理器的构造。

从外表观察,C PU 其实就是一块矩形固状物体,通过密密麻麻的众多管脚与主板相连。不过, 此时用户看到的不过是C PU 的外壳,用专业术语讲也就是C PU 的封装。

而在CPU 的内部,其核心则是一片大小通常不到1/4 英寸的薄薄的硅晶片(英文名称为D ie,也就是核心的意思,P Ⅲ C o p p e r m i ne 和Duron 等C PU 中部的突起部分就是Die)。可别小瞧了这块面积不大的硅片,在它上面密不透风地布满了数以百万计的晶体管。这些晶体管的作用就好像是我们大脑上的神经元,相互配合协调,以此来完成各种复杂的运算和操作。

硅之所以能够成为生产CPU核心的重要半导体素材,最主要的原因就是其分布的广泛性且价格便宜。此外,硅还可以形成品质极佳的大块晶体,通过切割得到直径8 英寸甚至更大而厚度不足1 毫 米的圆形薄片,也就是我们平常讲的晶片(也叫晶圆)。一块这样的晶片可以切割成许多小片,其中 的每一个小片也就是一块单独C PU 的核心。当然,在执行这样的切割之前,我们也还有许多处理工 作要做。

Intel 公司当年发布的4004 微处理器不过2300 个晶体管,而目前P Ⅲ铜矿处理器所包含的晶体管 已超过了2000 万个,集成度提高了上万倍,而用户却不难发现单个CPU 的核心硅片面积丝毫没有增 大,甚至越变越小,这是设计者不断改进制造工艺的结果。

除了制造材料外,线宽也是CPU 结构中的重要一环。线宽即是指芯片上的最基本功能单元门电路 的宽度,因为实际上门电路之间连线的宽度同门电路的宽度相同,所以线宽可以描述制造工艺。缩 小线宽意味着晶体管可以做得更小、更密集,可以降低芯片功耗,系统更稳定,C PU 得以运行在更 高的频率下,而且可使用更小的晶圆,于是成本也就随之降低。

随着线宽的不断降低,以往芯片内部使用的铝连线的导电性能已逐渐满足不了要求,未来的处理器将采用导电特性更好的铜连线。AMD 公司在其面向高端的Athlon 系列Thunderbird(雷鸟)处理器 的高频率版本中已经开始采用铜连线技术。这样复杂的构造,大家自然也就会更关心“CPU 究竟是 怎么做出来的呢”。客观地讲,最初的C PU 制造工艺比较粗糙,直到晶体管的产生与应用。众所 周知,C PU 中最重要的元件就属晶体管了。晶体管就像一个开关,而这两种最简单的“开和关” 的选择对应于电脑而言,也就是我们常常挂在嘴边的“0 和1 ”。明白了这个道理,就让我们来看 看C PU 是如何制造的。

一、C P U 的制造

1.切割晶圆

所谓的“切割晶圆”也就是用机器从单晶硅棒上切割下一片事先确定规格的硅晶片,并将其划 分成多个细小的区域,每个区域都将成为一个C PU 的内核(D i e)。

2.影印(P h o t o l i t h o g r a p hy)

在经过热处理得到的硅氧化物层上面涂敷一种光阻(Photoresist)物质,紫外线通过印制着CPU 复 杂电路结构图样的模板照射硅基片,被紫外线照射的地方光阻物质溶解。

3.蚀刻(E t c h i n g)

用溶剂将被紫外线照射过的光阻物清除,然后再采用化学处理方式,把没有覆盖光阻物质部分 的硅氧化物层蚀刻掉。然后把所有光阻物质清除,就得到了有沟槽的硅基片。

4.分层

为加工新的一层电路,再次生长硅氧化物,然后沉积一层多晶硅,涂敷光阻物质,重复影印、 蚀刻过程,得到含多晶硅和硅氧化物的沟槽结构。

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